真空除氧器是由除氧水箱（除氧塔）和真空机组两大部分组成的。

真空机又为真空泵机组。

水环真空机组以罗茨泵 为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。

水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利：

1、因为它克服了单台水环泵使用时极限压力差

2、解决了在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时又保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率的优点。

3、它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽：尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空系统不允许油污染时更为明显。

4、如果配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还能够抽除易燃易爆的气体。